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產品資料

NXTR-1A/1B薄膜方塊電阻測試儀

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: NXTR-1A/1B薄膜方塊電阻測試儀
產品型號: NXTR-1A/1B
產品展商: ghitest
產品文檔: *相關文檔

簡單介紹

薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架、四探針頭及**測量軟件組成


NXTR-1A/1B薄膜方塊電阻測試儀  的詳細介紹
:
薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架、四探針頭及**測量軟件組成 
使用范圍
適用于西門子法、硅烷法等生產**多晶硅料的企業
適用于物理提*生產多晶硅料生產企業
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業
適用于科研部門、高等院校及需要**量程測量電阻率的企業
產品特點
可測方塊電阻:適合檢測硅芯,檢磷棒,檢硼棒,籽晶等圓柱晶體硅
適用于西門子法、硅烷法等生產**多晶硅料的企業
適用于物理提*生產多晶硅料生產企業
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業
適用于科研部門、高等院校及需要**量程測量電阻率的企業
測試量程大,**電阻率測試儀
主機配置了“小游移四探針頭”了一起數據的準確性 
儀器消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響,因此測試精度**提高
測量精度高,除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能
*特的設計能**消除測量引線和接觸電阻產生的誤差,   ***測量的高精度和寬的量程范圍
雙數字表結構使測量*,操作*簡便
具有**的測試數據查詢及打印功能
測量系統可實現自動換向測量、求平均值、值、值、平均百分變化率等
四探針頭采用進口紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性**提高
采用進口元器件,留有*大的系數,**提高了測試儀的性和使用壽命
測量電流采用高度穩定的**恒流源(**之五精度),不受氣候條件的影響
具有正測反測的功能,測試結果的準確性
具有抗強磁場和抗高頻設備的性能
測量范圍
10-5 ------1.9*105  Ω?cm
10-4------1.9*104  Ω?cm
可測硅棒尺寸: 長度300mm;直徑20mm(**按用戶要求*改)
輸出電流:DC0.001-100mA  五檔連續可調   測量范圍:0-199.99mV 
靈 敏 度: 10μA
輸入阻抗:1000ΩM
電阻測量誤差:各檔均低于±0.05%
供電電源:AC 220V ±10% 50/60Hz.
推薦使用環境:溫度:23±2℃   相對溫度:≤65%
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